～ A14ノード世代に対応したマルチ電子ビームマスク描画装置MBM(TM)-4000 ～
株式会社ニューフレアテクノロジー（NFT）は、このたび、マルチ電子ビームマスク描画装置「MBM(TM)-4000」が、第32回「半導体・オブ・ザ・イヤー2026」半導体製造装置部門において優秀賞を受賞したことをお知らせします。本賞は、電子デバイス産業新聞が、最新のエレクトロニクス製品の開発に貢献した製品を表彰するものです。
受賞した「MBM(TM)-4000」は、NFTが開発した半導体製造用フォトマスク量産向けのマルチ電子ビームマスク描画装置で、A14デザインルール＊に対応しています。50万本の電子ビームを高速かつ高精度に制御し、フォトマスク描画において、位置精度1.1nm（3σ）、寸法精度0.5nm（3σ）を実現しており、2025年から販売を開始しています。
* A14デザインルール…1.4nm世代に対応する半導体回路パターンの設計ルール
NFTは、「半導体・オブ・ザ・イヤー2023」においても、マルチ電子ビームマスク描画装置「MBM(TM)-2000PLUS」が半導体製造装置部門のグランプリを受賞しており、今回は3年ぶりの受賞となります。
NFTは、半導体製造装置を通じて、新たな価値を創造し、半導体産業と人類、社会に貢献できるよう今後も尽力してまいります。
マルチ電子ビームマスク描画装置「MBM(TM)-4000」
表彰状
■参考ニュースリリース
2023年6月5日 「半導体・オブ・ザ・イヤー2023」半導体製造装置部門グランプリ受賞
2025年9月30日 A14ノード対応のマルチ電子ビームマスク描画装置「MBM(TM)-4000」を上市
以上