「高感度」と「小型・軽量」を両立することで微小振動の検出が可能となり、精密加工分野が抱える課題の解決に大きく貢献。
電子計測器の製造および販売を行う株式会社小野測器（代表取締役社長：大越 祐史）は、2026年10月5日（月）に新製品「TEDS対応高感度小型3軸加速度センサーNP-3580N10」を発表、発売しました。
TEDS対応高感度小型3軸加速度センサー NP-3580N10
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半導体製造装置や精密加工機などの分野においてナノメートルレベルの微細化が進む現在、加工精度に直結するわずかな振動の管理が不可欠となっています。製品品質を守るためには、こうした微小な揺れの計測が重要となっています。しかし、一般的な汎用センサーでは、微小な振動がセンサー自身のノイズに埋もれてしまい、計測が困難な場合がありました。さらに、実際に計測したい内部の加工部フレーム等は限られたスペースしかありません。よって、現場では「高感度」と「小型・軽量」を両立したセンサーが求められています。
本製品は、19.5 mm角という小型サイズと25 g未満の軽量化を実現しつつ、100 mV/(m/s²)の高感度と低ノイズ性能を両立しました。これにより、装置内部の限られたスペースに直接取り付けでき、ノイズに埋もれていた微小振動を検出することが可能となり、精密加工分野が抱える課題の解決に大きく貢献します。
【特長】
- 高感度、低ノイズ
感度100 mV/(m/s²)、センサーノイズ４００ μm/s² rms以下を実現し、感度10 mV/ (m/s²)では計測が困難だった微小な振動を捉えます
- 小型、軽量設計
19.5 mm角、質量25 g未満のため、大型の製造装置内や限られたスペースのフレームにも容易に設置可能です
- TEDS（Transducer Electronic Data Sheet）対応
計測機器に接続するだけでセンサー情報の自動読み込みが可能となり、設定の省力化や誤設定の防止に貢献します。
【ターゲット市場・主な用途】
- 半導体製造装置（露光装置など）や精密加工機の設計・開発、保全における振動評価
- 顕微鏡、三次元測定機、除振台などの微小振動計測や状態把握
- 装置と床の伝達特性の把握、実験モード解析、外乱要因の特定および対策
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【小野測器について】
1954年創業。電子計測機器の製造、販売ならびに各種エンジニアリングサービス事業を展開。創業同年には、 国内初となるジェットエンジンの回転数を計測する回転計を開発。自動車産業では二輪・四輪車、自動車部品、 その他建設機械、食品や医療検査等、幅広い分野において研究開発のサポートから製造工程での測定技術を提供。自動車メーカーHondaの第二期（1983-1992）F1レース活動において、V6ターボエンジンのベンチ試験用の操作システムを特注制作するなど、同社の優勝に技術面でサポート。その他、近年では電動車両（EV）開発支援 など、カーボンニュートラル社会実現のために新たなビジネス領域への参入を行っている。