光物性の基礎、測定原理、光学モデル構築、複雑な薄膜解析まで体系的に解説
アイアール技術者教育研究所は誘電率や屈折率、偏光、干渉などの基礎から、フィッティング解析、光学モデル構築、多層膜や表面ラフネス、光学異方性膜の解析までを学べる公開セミナーを開催します。
分光エリプソメトリーは、スペクトル情報を活用し、薄膜の膜厚や光学特性を非接触で高精度に評価できる手法です。
半導体や光学材料など幅広い分野で利用されていますが、測定パラメーターや光学モデルの理解には専門知識が必要で、解析が難しいという課題があります。そのため、装置を導入していても活用が限定的になるケースも見られます。
セミナー概要
- セミナー名：分光エリプソメトリー 徹底解説講座
- 開催形式：Zoomによるオンライン受講
- 開催日時：2026/10/23（金）10：00～16：00
- 受講料：49,500円（税込）/1名（複数名受講割引あり）
- 講師：田所 利康 講師（有限会社テクノ・シナジー 代表取締役）
講座詳細
本講座では、分光エリプソメトリーの基礎から測定原理、解析方法、応用事例までを体系的に解説します。光物性の基礎や偏光・干渉の理解を踏まえ、測定パラメーターや装置特性、誘電関数モデルを学び、さらに薄膜や多層膜などの事例を通じてフィッティング解析や光学モデル構築の実践的なノウハウを習得します。
セミナープログラム
１．イントロダクション
1-1 本講習の目的
1-2 薄膜解析と分光エリプソメトリー
1-3 分光エリプソメトリーの特徴と用途
２．物質と光の相互作用
2-1 分極と屈折率
2-2 なぜ分光なのか（分極と分光スペクトル）
2-3 偏光，光の反射，透過，屈折
2-4 薄膜の干渉
３．分光エリプソメトリー
3-1 エリプソメトリーの測定原
3-2 偏光解析パラメーターの表記法
3-3 単一波長から分光へ
3-4 エリプソメーター
3-5 誘電関数モデルと屈折率スペクトルの関係
3-6 分光エリプソメトリー解析の流れ
４．測定の実際と解析上のポイント
4-1 透明基板上の薄膜解析
4-2 半導体基板上の薄膜解析例
4-3 高度な解析例
５．まとめ
質疑応答
想定対象
- 分光エリプソメトリーを基礎から学びたい方。
- これから分光エリプソメトリーを始めたいとお考えの方。
- 「Cauchyモデルしか使ったことがない」、「膜厚しか求めたことがない」など、現状の測定解析を改善したい方。
- 分光エリプソメーターをもっと活用したい方。
※このセミナーの詳細はこちら
https://nihon-ir.jp/seminar/spectroscopic-ellipsometry/
アイアール技術者教育研究所は、製造業向け技術者教育サービス（セミナー、eラーニング、研修、出版）を通じ、現場で役立つ知識・ノウハウの提供を継続してまいります。
日本アイアール株式会社
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