SiCパワー半導体用の熱処理装置メーカーとして、その製品性能が認められ受賞

熱処理技術のエキスパートとして進化し続け、持続可能な社会の実現を目指し、地球のため、世の中のため、お客様のために貢献

株式会社ジェイテクト(本社： 愛知県刈谷市、社長： 佐藤和弘、以下「ジェイテクト」）のグループ会社である株式会社ジェイテクトサーモシステム（本社：奈良県天理市、 社長：竹岡 伸高、以下「ジェイテクトサーモシステム」）は、産業タイムズ社主催の第28回半導体・オブ・ザ・イヤー2022において、製造装置部門で「SiCパワー半導体用ランプアニール装置」が評価され優秀賞を受賞しました。

【製造装置部門の優秀賞について】
最新のエレクトロニクス製品の開発において最も貢献した製品を称える賞。対象製品は2021年4月～2022年3月までに新製品（バージョンアップ等含む）として発表された製品・技術。
１.半導体デバイス、２.半導体製造装置、３.半導体用電子材料の3部門から選出される。

【SiCパワー半導体用ランプアニール装置について】
パワー半導体製造用として開発されたランプアニール装置。従来機種では国内シェア70％を有し、主にオーミックコンタクトアニール処理などに用いられている。今回開発したRLA-4100シリーズはチャンバー及び搬送部に真空ロードロックを採用、金属膜の酸化を抑制し製品特性を向上しながら処理時間を33％短縮した（従来機比）。

【今後に向けて】

ジェイテクトサーモシステムは、今後飛躍的に成長が見込まれるSiCパワー半導体用の熱処理装置メーカーとして本ランプアニール装置に加え、SiCパワー半導体の熱処理に欠かせない活性化炉、酸窒化炉についても更なる製品強化を行ない、熱処理技術のエキスパートとして進化し続け、持続可能な社会の実現を目指し、地球のため、世の中のため、お客様のために貢献してまいります。

【授賞式】
電子機器トータルソリューション展2022内にて開催
授賞式：2022年6月15日(水)
場所：東京ビッグサイト・会議棟6F　610号室

ジェイテクトサーモシステム ウェブサイト
https://www.jtekt-thermos.co.jp/

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